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          機器人研拋一體機

          基于工業機器人的小工具加工機床,利用小工具在元件表面高速旋動,實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
          利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭,確保拋光過程中材料去除函數穩定可控,從而實現超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

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          基于工業機器人的小工具加工機床,利用小工具在元件表面高速旋動,實現對平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
          利用自主研發的基于力控傳感器的柔性拋光頭,確保拋光過程中材料去除函數穩定可控,從而實現超精密元件表面的高精度加工,配合全鏈路工藝、軟件,實現光學元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。

          優勢
          1、基于工業機器人專用控制系統,實現高精度表面成型。
          2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設計,精確控制加工過程去除函數。
          3、根據加工要求,開放式全鏈路加工工藝軟件開發。
          4、根據客戶要求定制開發


          主要技術指標

          項目
          參數指標
          可加工元件材料
          熔石英、K9、微晶等光學元件;合金鋁等金屬元件
          可加工元件最大尺寸

          φ1000mm

          拋光工具轉速
          50-800RPM
          力傳感器量程
          Fx/Fy:100N; Fz:200N
          力傳感器精度非線性和滯后優于0.5%,串擾優于2%
          力傳感器分辨率Fx/Fy:0.09N; Fz:0.33N
          工具軸運動范圍
          1:±180°
          2:-90°至+150°
          3:-180°至+75°
          4:-400°至+400°
          5:-125°至+120°
          6:-400°至+400°
          工具軸最大運動速度
          1-6軸均為175°/s
          重復定位精度
          0.06mm
          面積需求
          3.5m×3.5m×3m
          溫度要求
          22±0.5℃
          濕度要求
          40%-80% RH




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